产品概述
技术参数
◇激励： 3100、3200、3300的电压为10.0±0.01VDC，电流为3MAXmA，功率为30mW典型值 43300、43600的电压为10VDC，电流为6mA，功率为60mA典型值，电压为10±0.01, 率为100max，响应时间：最多为3秒,5000的为60秒◇灵敏度：3100{20mV/sccm(＠200sccm)},3300{4mV/sccm(＠1000sccm)3200{0.8mV/mbar(＠±4.98mbar),43300{5mV/sccm(＠±1000sccm)}, 43600{833mV/SLPM(＠6SLPM)},5000为0.8Vdc/SLPM可变 ◇工作温度：都是-25~+85℃◇储存温度：都是-40~+90℃◇压差（mbar)：3100为+0.5＠±200sccm，3300为+1.5＠±1000sccm，43300为2.5＠满量程, 43600为19.9＠满量程，5000为0.6典型值可变。◇过差（mbar)：3100、3200、3300为345 ，43300、43600为150psi max，5000为3500
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